EP 480 voor een “Exposure method and apparatus, and device manufacturing method” niet inventief

Print this page 11-06-2018
IEPT20180606, Rb Den Haag, Nikon v ASML

Dat buitenlandse rechters bij uitsluiting bevoegd zijn te oordelen over buitenlandse delen EP 480 leidt niet tot onbevoegdheid Nederlandse rechter m.b.t. grensoverschrijdende vordering inzake onrechtmatige daad: Rb moet wel oordeel buitenlandse rechters afwachten. EP 480 niet inventief in licht van EP 470 gecombineerd met EP 541. Maatregel 1.b (afbuigelement) geen verschilmaatregel: als al sprake is van een aperture stop, zou vakman uit octrooi begrijpen dat zowel aperture stop als DOE in terminologie van octrooi als afbuigelement kan fungeren. Technisch effect verschilkenmerk 1.c: tegelijkertijd afbeelden van verschillende patronen met hoge resolutie. Oplossing technisch probleem te vinden in EP 541, waarin te lezen is dat  twee verschillende verlichtingen in één exposure kunnen worden gecombineerd. Indien lichtverdeling in centrale gebied rond de as als duidelijker ringvorm wordt opgevat is EP 480 niet inventief in licht van EP 067 gecombineerd met algemene vakkennis of JP 120: verschilkenmerk 1.e (gebruik van polarisatie-instelelement)dat zorgt voor verbeterd contrast  behoorde tot algemene vakkennis vakman. Zaak wordt aangehouden voor zover het gevorderde in de hoofdzaak verband houdt met inbreuk op andere nationale delen.

 

HANDHAVING - OCTROOIRECHT

 

Nikon is houdster van octrooi EP 480 voor ‘Exposure method and apparatus, and device manufacturing method’. Volgens Nikon maakt ASML met alle versies van haar immersie-lithografiemachines die zijn uitgerust met de zogenaamde Aerial XP illuminator of FlexRay illuminator inbreuk op het octrooi.

 

Met betrekking tot de bevoegdheid overweegt de rechtbank dat hij internationaal bevoegd is om kennis te nemen van de vorderingen in conventie op grond van artikel 4 Brussel I-bis Vo, nu ASML gevestigd is in Nederland. De bevoegdheid strekt zich in beginsel uit tot grensoverschrijdende maatregelen. Bevoegdheid ten aanzien van de reconventionele vordering tot vernietiging van EP 480 bestaat op grond van artikel 24(4) Brussel I-bis Vo. Hoewel ASML er terecht op wijst dat op grond van artikel 24(4) Brussel I-bis andere rechters dan de Nederlandse rechter bij uitsluiting bevoegd zijn een oordeel te geven over nietigheid van de buitenlandse delen van EP 480, leidt dit er niet toe dat de rechtbank zich ten aanzien van de grensoverschrijdende vordering tot het onrechtmatig handelen door het betrokken zijn bij octrooi-inbreuk buiten Nederland onbevoegd dient te verklaren. Voor die vordering is een oordeel over de geldigheid van de buitenlandse octrooien vereist, zodat de rechtbank het oordeel van de exclusief bevoegde buitenlandse rechters over de geldigheid moet afwachten, indien Nikon verzoekt om aanhouding. Dat is (voorwaardelijk) gedaan, zodat de rechtbank de beoordeling ten aanzien van de buitenlandse delen aanhoudt. De Nederlandse rechter is echter wel bevoegd ten aanzien van de gevorderde provisionele maatregelen, waarbij naar Solvay v Honeywell  (IEPT20120712) wordt verwezen.

 

Naar het oordeel van de rechtbank heeft ASML terecht aangevoerd dat EP 480 niet inventief is in het licht van de Zeiss octrooiaanvrage EP 470 gecombineerd met ASMLs EP 541. Uitgaande van EP470 als meest nabije stand van de techniek zijn partijen het erover eens dat maatregel 1.c ontbreekt. Volgens Nikon ontbreekt ook maatregel 1.b, omdat een zogenoemde “aperture stop”, zoals toegepast in EP 470 geen afbuigelement in de zin van het octrooi is nu het licht daarbij niet wordt afgebogen, maar (groten)deels wordt tegengehouden. Als al sprake is van een aperture stop is de rechtbank met ASML van oordeel dat de gemiddelde vakman uit het octrooi zal begrijpen dat zowel een aperture stop als een DOE (diffractief optisch element) in de terminologie van het octrooi als afbuigelement kan fungeren. Dit wordt afgeleid uit de beschrijving van EP 480 en uit de verleningsgeschiedenis.

 

Het technisch effect van het verschilkenmerk 1.c is volgens partijen dat verschillende patronen (met grove of fijne pitch) tegelijkertijd met hoge resolutie kunnen worden afgebeeld. Het technisch probleem is dan ”Hoe kunnen verschillende patronen (met fijne en grove pitch) tegelijkertijd met hoge resolutie vanaf het masker op de wafer worden geprojecteerd?” De rechtbank is van oordeel dat de oplossing van dit probleem te vinden is in EP 541. In paragraaf [0040] van EP 541 is immers te lezen dat twee verschillende verlichtingen in één exposure

kunnen worden gecombineerd, conventioneel voor de grove, “isolated” structuren en quadrupole voor de

opeengepakte “dense” structuren, precies zoals het octrooi voorziet.

 

De verweren van Nikon hiertegen gaan niet op. Het verweer dat conclusie 1 van EP 480 beperkt is tot een centraal deel dat ringvormig is, terwijl figuren 25a en 25b van EP 541 lichtintensiteitsverdelingen openbaren met een centrale (volle) schijf faalt. Ook wordt het verwijt van Nikon dan EP 541 niet zou openbaren hoe de lichtintensiteitsverdelingen van figuren 25a en 25b kunnen worden verkregen gepasseerd, omdat EP 480 zelf ook niets zegt over het verkrijgen van de vereiste lichtintensiteit en dit dus kennelijk tot de algemene vakkennis heeft te gelden op de prioriteitsdatum. Ten slotte wordt niet gevolgd dat EP 470 niet compatibel zou zijn met EP 541, aangezien de gemiddelde vakman zonder meer in staat zou zijn om de DOE van EP 541 in het verlichtingsfiguur van figuur 2 van EP 470 te implementeren, enkel door de spiegel en apertuur te vervangen door een DOE.

 

Wanneer de lichtverdeling in het centrale gebied rond de as als een duidelijker ringvorm wordt opgevat, gaat volgens de rechtbank de stelling van ASML op dat dan EP 480 niet inventief is in het licht van ASMLs EP 067 gecombineerd met algemene vakkennis of JP 120. Nikon stelt dat er twee verschilkenmerken zijn tussen EP 067 en EP 480: deelkenmerk 1.c en deelkenmerk 1.e. De rechtbank oordeelt echter dat enkel deelkenmerk 1.e, de toepassing van een polarisatie-instelelement, een verschilkenmerk is. Het technisch effect hiervan is een verbeterd contrast, zodat het technisch probleem de verbetering van het contrast van de inrichting volgens EP 067 is. Het gebruik van een polarisatie-instelelement om het contrast te verbeteren behoorde echter tot de algemene vakkennis van de vakman ten tijde van de prioriteitsdatum. Dat er andere methoden zijn om het contrast te verbeteren die voor de vakman meer voor de hand lagen is niet relevant, aangezien een (arbitraire) keuze uit mogelijke oplossingen die elk voor de hand liggen geen inventiviteit kan verlenen. Ten aanzien van de plaats van het polarisatie-instelelement heeft Nikon evenmin een specifiek voordelig (onverwacht) effect aangevoerd, zodat die eis als arbitrair aan te merken is.

 

De volgconclusies zijn ook niet-inventief, gelet op de gemotiveerde stellingen van ASML, terwijl Nikon enkel heeft gewezen op de inventiviteit van conclusie 1. EP 480 is daarom nietig, zodat daarop geen inbreuk kan worden gemaakt. Ook de provisionele vorderingen worden afgewezen. De zaak wordt aangehouden voor zover het gevorderde in de hoofdzaak verband houdt met inbreuk op andere nationale delen.

 

De IEPT-versie volgt.

 

ECLI:NL:RBDHA:2018:6542